Transmission Electron Microscope

生产厂家：日本电子株式会社 (JEOL)

仪器型号：JEM-2100 Plus

仪器简介

透射式电子显微镜提供材料的高分辨形貌观察和微区晶体结构分析，配备先进的电子光学系统和CMOS数字化成像系统，实现原子尺度的微观结构表征。

系统配备扫描透射（STEM）功能和电制冷能谱仪（EDS），支持高角度环形暗场（HAADF）成像和纳米尺度元素分析，满足材料微观结构、晶体学特性和化学成分的综合分析需求。

配置的多轴马达驱动样品台支持精确样品定位和倾斜，结合选区衍射和会聚束衍射功能，为晶体结构分析和缺陷研究提供完整解决方案。

主要技术参数

1.分辨率：点分辨率0.23nm，线分辨率0.14nm，STEM分辨率：1 nm；

2.加速电压：80/100/120/200kV四档可选，稳定度≤2ppm/min；

3.样品台：五轴马达驱动侧插式样品台，移动范围X/Y=2mm，倾斜角度±35°；

4.成像系统：1900万像素CMOS相机，拍摄速度≥58fps；

5.分析功能：

STEM分辨率：1nm（配备BF和DF成像）

EDS分辨率：≤133eV，元素范围B⁵-U⁹²

电子衍射：选区衍射、会聚束衍射、纳米束衍射

6.真空系统：超高真空设计，真空度优于2×10⁻⁵Pa。

应用领域

材料科学、纳米技术、半导体研究等领域的高分辨形貌观察、晶体结构分析和微区成分分析，广泛应用于金属材料、陶瓷材料、功能材料等的研究与质量检测。