Scanning Electron Microscope

仪器生产厂家：日本电子株式会社 (JEOL)

仪器型号：JSM-IT810

仪器简介

扫描电子显微镜主要用于金属材料、非金属材料和纳米材料等多种材料的电子显微学研究，在高真空条件下对样品进行直接的超高分辨显微形貌观察和微区元素分析。系统配备二次电子探测器、背散射电子探测器、电制冷能谱仪等，可实现高质量二次电子、背散射成像及元素分析。结合能谱仪可进行微区成分的定性和定量检测，广泛应用于材料科学、半导体、微电子等领域的显微观察与分析。

主要技术参数

1.二次电子像分辨率：0.6nm @ 15kV；1.1nm @ 1K；

2.电子枪：浸没式肖特基热场发射电子枪，自动合轴调整，寿命3年；

3.加速电压：0.01kV-30kV连续可调；

4.样品台：5轴马达驱动全对中样品台，移动范围X=70mm，Y=50mm，Z=41mm；

5.探测器：高位混合电子探测器，可同时获得二次电子像和背散射电子像；

6.能谱仪(EDS)：电制冷SDD探测器，有效面积100mm²，能量分辨率≤133eV，元素分析范围Be~U；

7.真空系统：电子枪室真空≤10⁻⁷Pa，样品室真空≤10⁻⁴Pa；

8.自动功能：具有自动透镜控制、自动合轴、自动聚焦、自动消像散功能。

应用领域

金属、陶瓷、矿物、半导体等材料的显微形貌、晶体结构和相组织观察与分析；各种材料微区成分的定性和非定量检测；广泛应用于材料科学、半导体、微电子产业等领域的研究与检测。