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扫描电子显微镜(SEM)试运行通知

发布日期:2025-12-09 浏览量:

为提升学校科学研究水平、助力“双一流”建设,学校成立了现代分析测试中心。中心引进的扫描电子显微镜(SEM(规格型号:JEOL JSM-IT810已基本完成安装调试,现面向校内外用户开放试运行。主要用于金属材料、非金属材料和纳米材料等多种材料的电子显微学研究,在高真空条件下对样品进行直接的超高分辨显微形貌观察、微区元素分析和晶体取向分析。被广泛地应用于纳米科学、冶金学、物理学、材料科学、机械学、地学、矿物学、生命科学和半导体等多种领域。

一、设备核心技术指标与配件

1. 成像性能

分辨率:0.6nm@15kVSE),1.1nm@1kV;分析模式3.0nm@15kV/5nA

加速电压:0.0130kV连续可调。

束流范围:5pA500nA30kV),5kV下最大100nA

放大倍率:10×2,000,000×,自动校正补偿。

2. 电子光学系统

电子枪:肖特基热场发射,自动合轴,寿命≥3年。

透镜系统:电磁聚光镜+物镜(支持磁性样品),4级光阑可调,自动消像散。

功能:自动聚焦、亮度/对比度调节、图像旋转补偿,光学-电子图像无缝切换。

3. 样品台与室

样品台:5轴马达驱动(X=70mmY=50mmZ=41mm,倾斜-5°70°,旋转360°)。

换样:大开门设计,最大样品φ170×45mm

4. 探测器与成像

探测器:高位混合探测器(SE/BSE)、背散射电子探测器、CCD监控。

模式:同步SE/BSE成像,支持BD模式。

5. 真空系统

真空度:电子枪≤10⁻⁷Pa(离子泵+UPS断电延时200h),样品室≤10⁻⁴Pa

泵组:分子泵(240L/s+双离子泵(30+20L/s+机械泵(100L/min)。

6. X射线能谱仪(EDS

探测器:SDD电制冷(100 mm²),分辨率≤133eV,分析范围Be₄–U₉₂

功能:实时点/线/面分析(4096×3072像素),自动漂移矫正,定量/净技术面分布,ZAF/PHI-RHO-Z校正,自定义报告模板。

二、试运行预约方式

预约系统:可通过电话联系或学校大型仪器设备共享管理平台(https://dygx.csuft.edu.cn/genee/) 送样预约。

(一)预约要求

所有测试预约成功后均需与设备管理老师沟通确定实验方案。

(二)联系方式

技术咨询与预约需求,请联系设备管理员李老师(核磁电镜检测平台负责人),电话18208989259

三、试运行服务及收费标准说明

1.试运行期间收费优惠:校内用户160/h (不足半小时按半小时计费),校外用户300/h (不足半小时按半小时计费);喷金费60/次(120s)。

2.试运行期间暂不提供自主操作及培训工作。

四、试运行时间与地点

时间:即日起至1231日工作日上班时间(正式运行将另行通知)。

地点:中南林业科技大学逸夫楼121A室,有意向预约测试的课题组,欢迎加入以下QQ群聊进行沟通讨论。


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