X-ray Photoelectron Spectrometer

仪器生产厂家：Thermoscientific 仪器型号：Nexsa G2

仪器简介

X射线光电子能谱仪（XPS）是一种重要的表面分析技术，XPS基于光电效应，当X射线光子照射样品时，样品表面原子的内层电子吸收光子能量，克服原子核的束缚能和样品的功函数后，以光电子的形式逸出样品表面。通过测量光电子的动能，结合已知的X射线光子能量，可计算出电子的结合能，从而确定样品表面的元素种类和化学状态。可应用于样品表面的元素分析、化学态分析以及深度剖析。

主要技术参数

1. 电子分析器：

采用双聚焦半球型能量分析器，保证高分辨率；配备128通道探测器和多元传输透镜，实现高灵敏度和高传输效率；通能范围宽（1-400 eV），调节精细（0.1 eV步长），灵活性极佳。

2. X射线光源：

单色化、微聚焦光源，功率120W，有效避免样品辐照损伤；束斑尺寸连续可调，最小可达10 µm；阳极靶材寿命长（16个工作点），所有参数软件可控，操作便捷。

3. 电荷中和系统：

同源双束中和枪，可同时提供电子和离子，能有效中和绝缘样品和UPS分析时的表面电荷。

4. 离子刻蚀系统：

单一枪体，集成两种模式，功能强大：单离子模式 (500 eV - 4 keV)：用于常规深度剖析。团簇离子模式 (2 keV - 8 keV)：每个离子能量可低至1 eV，能对有机、高分子等敏感样品进行无损或低损伤刻蚀。

5. 紫外光电子能谱 (UPS)：

高性能UPS附件，能量分辨率达120 meV，灵敏度高达 2000000 cps (对Ag4d)。

应用领域

适用于研究材料表面的微观结构和化学性质，为材料科学、能源、生物等领域的研究提供重要支持。